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- 北京北方华创真空技术申请晶棒状态检测专利, 提高成产过程中晶棒状态检测的准确性 2024/12/21
金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创真空技术有限公司申请一项名为“晶棒状态的动态检测方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN119152960A，申请日期为2024年8月。 专利摘要显示，本申请涉及一种晶棒状态的动态检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括实时监测并收集单晶炉中晶棒在不同工艺阶段产生的压降模拟量数据；对压降模拟量数据进行分析与处理，并根据分...