北京北方华创真空技术申请晶棒状态检测专利, 提高成产过程中晶棒状态检测的准确性

金融界2024年12月21日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创真空技术有限公司申请一项名为“晶棒状态的动态检测方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN119152960A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本申请涉及一种晶棒状态的动态检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括实时监测并收集单晶炉中晶棒在不同工艺阶段产生的压降模拟量数据；对压降模拟量数据进行分析与处理，并根据分析结果构建动态模型，识别晶棒在不同工艺阶段的晶棒状态信息；获取设备参数数据，并将压降模拟量数据和设备参数数据输入预设晶棒状态预测模型，得到晶棒理想状态信息，将晶棒理想状态信息与晶棒状态信息进行对比分析，生成状态差异信息；结合实时采集的压降模拟量数据与历史状态数据，对状态差异信息进行分析，生成对应的状态分析报告。本申请具有提高成产过程中晶棒状态检测的准确性的效果。

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